11月24日，沈陽(yáng)市科技振興獎(jiǎng)和沈陽(yáng)市科技進(jìn)步獎(jiǎng)?wù)浇視浴Ｐ滤晒咀灾餮邪l(fā)的潔凈機(jī)器人榮獲了沈陽(yáng)市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。沈陽(yáng)市科技振興獎(jiǎng)和沈陽(yáng)市科技進(jìn)步獎(jiǎng)，是沈陽(yáng)市政府設(shè)立的兩個(gè)最高科技獎(jiǎng)項(xiàng)。

大氣機(jī)器人（由于是在超凈間內(nèi)使用因此又稱潔凈機(jī)器人）是在大氣環(huán)境下用于半導(dǎo)體加工行業(yè)在超凈間里負(fù)責(zé)不同制成間物料搬運(yùn)的自動(dòng)化設(shè)備，具有運(yùn)動(dòng)速度快，定位（重復(fù)定位）精度高，結(jié)構(gòu)緊湊，安全可靠，安裝和維修方便等特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于刻屬機(jī)，離子注入機(jī)和PECVD等IC裝備中硅片的傳輸，是IC裝備中普遍采用的高精度，高可靠性的自動(dòng)化裝備。

為提成我國(guó)先進(jìn)制造業(yè)的技術(shù)水平，新松公司于2002年立項(xiàng)開(kāi)發(fā)了潔凈機(jī)器人。經(jīng)過(guò)工程技術(shù)人員幾年的努力，攻克了高速，高精度和高可靠性的控制技術(shù)和潔凈環(huán)境下的運(yùn)動(dòng)件潤(rùn)滑技術(shù)及通過(guò)機(jī)械手對(duì)晶圓盒內(nèi)晶圓狀態(tài)檢測(cè)技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)難題。在這些技術(shù)的積累下，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的潔凈鍍膜機(jī)械手應(yīng)用于我國(guó)第一條激光打印機(jī)感光光導(dǎo)鼓鍍膜生產(chǎn)線，取得顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

截止到目前，新松公司開(kāi)發(fā)的用于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈機(jī)器人取得突破性進(jìn)展，隨著市場(chǎng)的進(jìn)一步推廣，必將成為新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)的制造業(yè)基礎(chǔ)，未我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供可靠的技術(shù)支撐。