近日，2009年遼寧省科技進(jìn)步獎(jiǎng)評(píng)選結(jié)果揭曉，共有270項(xiàng)科技成果獲得獎(jiǎng)勵(lì)。其中一等獎(jiǎng)25項(xiàng)，二等獎(jiǎng)90項(xiàng)，三等獎(jiǎng)155項(xiàng)。由新松公司研究開發(fā)的潔凈機(jī)器人項(xiàng)目榮獲遼寧省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)，這是新松公司成立十年來首次獲此殊榮。

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和機(jī)器人技術(shù)的進(jìn)步，機(jī)器人的用途越來越廣，工業(yè)機(jī)器人已經(jīng)從傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域逐步進(jìn)入到軍事工業(yè)、航天、半導(dǎo)體工業(yè)和生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。很多現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)要求精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性，因此在產(chǎn)品的生產(chǎn)中要求有一個(gè)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。潔凈生產(chǎn)環(huán)境就是對(duì)空氣中的微粒、有害氣體、微生物進(jìn)行控制，以滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要；對(duì)溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。環(huán)境的潔凈度將對(duì)產(chǎn)品的性能、安全性和成品率產(chǎn)生重大的影響，潔凈度的高低直接影響著產(chǎn)品的合格率。潔凈技術(shù)便是按照產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境中的污染物的控制要求、控制方法以及控制設(shè)施的日益嚴(yán)格而不斷發(fā)展。發(fā)展能在潔凈空間下工作的特殊機(jī)器人及傳輸生產(chǎn)線系統(tǒng)將具有廣闊的市場和空間。因而研究用于潔凈生產(chǎn)環(huán)境下機(jī)器人是十分有意義而且是必要的。

潔凈機(jī)器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機(jī)器人。該項(xiàng)目的科技人員經(jīng)過幾年的艱苦努力和不斷探索，借鑒國外在潔凈機(jī)器人領(lǐng)域的開發(fā)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)基礎(chǔ)，通過本項(xiàng)目的實(shí)施，開發(fā)出了能在超凈間完成各項(xiàng)任務(wù)的潔凈機(jī)器人系列產(chǎn)品及潔凈自動(dòng)化裝備。主要包括大氣機(jī)械手、潔凈鍍膜機(jī)械手和潔凈機(jī)械手碼垛包裝線等。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)镮C裝備、平板顯示（FPD）、電子、生物制藥和食品等行業(yè)。

新松公司開發(fā)出的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的潔凈機(jī)器人技術(shù)和系列產(chǎn)品，使我國在潔凈機(jī)器人方面取得重大突破，打破了半導(dǎo)體制造裝備的關(guān)鍵部件依賴于進(jìn)口的局面，提升了我國在自動(dòng)化技術(shù)及裝備的研究開發(fā)水平和創(chuàng)新能力，提高了同國外同類產(chǎn)品抗衡的能力和配套能力，促進(jìn)了我國信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展；同時(shí)進(jìn)一步增強(qiáng)了遼寧省和沈陽市裝備制造的實(shí)力，為我國的潔凈機(jī)器人及潔凈自動(dòng)化裝備在未來國際上半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)化裝備的激烈競爭中占據(jù)一席之地奠定基礎(chǔ) 。

目前新松公司開發(fā)的潔凈機(jī)器人已經(jīng)初步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，在潔凈鍍膜，電子元器件加工等潔凈行業(yè)實(shí)現(xiàn)了大量應(yīng)用，為公司創(chuàng)造了巨大的經(jīng)濟(jì)效益；另外在纖維、潔凈包裝紙、半導(dǎo)體等行業(yè)的應(yīng)用也逐步增加。